化学方法金属蚀刻的发展历史（二）

? ? ?有机会在古代化学腐蚀的应用程序，在某人不小心溅酸在金属上，并发现通过这种酸“咬”部分，形成一个三维的效果和周围的金属。一定要想，人类的祖先是一个谨慎的人，和发现的记录。强腐蚀性的无机酸的发现，发现和防腐材料，这种技术不断改进和完善，因此有很高的实用价值。

? ? ? 在14世纪末15世纪初，在这段时期是很常见的样式表kai kai应用程序，让工匠往往把所有的部分涂上油漆。一方面作为标志来识别凯，也是一个r来防止大气腐蚀。可能是一座山在这些油漆层意外损坏和腐蚀，凯_l锈形成的模式。因此，很有可能是这一现象进一步引起了人们开始有意识地创造各种标记的盔甲。也可能是一种武器，头盔，胸甲人体保护等金属零件，是由锻造方法，其硬度非常高，使用的方法以前常用的手雕刻困难，蚀刻机，所以人们不得不寻求新的模式处理方式，蚀刻机泵，通过各种很快发现的实验研究方法使用酸腐蚀模式处理，终在装甲模式使更多的功能取代基于酸腐蚀的化学腐蚀。本文来自石家庄贝尔电子科技有限公司。

? ? ?铁的腐蚀有意识，早的文字记录出现在英文手稿是巧合的世纪。它描述了一个用盐、活性炭和醋腐蚀性，由亚麻籽油涂料制造防腐层。当处理，开始的防腐涂层均匀刷_l根据图纸的要求，干燥后，然后在所有表面受到腐蚀，因此，并不是每一个表面涂上保护层是酸性腐蚀代理“咬”。在以后的开始使用石蜡和其他保护层。使用这种方法，玻璃蚀刻机，首先在金属涂上石蜡，然后把防腐层的要求删除的部分。正如我们所知，这是一步式化学腐蚀的起源或外部腐蚀处理。

激光打印机掩膜版蚀刻制造过程中掩模版图形如何产生

在过去的十年，光学掩模版图形的制作（pg）领域取得了显著的进步。图形可以方便地制作，用成象的方法或使一系列矩形图形准确地定位到铬片上。因为ic设计者设计的图形通常是多边型的，它们必须被分解成矩形，称作“分割”数据。关系图形产生器（opg）的关键部件是光孔（或快门），和一个可移动的台阶。快门被安装在可移动的头上，它可以被旋转以获得需要的θ值，快门尺寸能够控制产生特定h、w的矩形来制作图形。用10×的镜头把矩形成像到一个镀有铬的玻璃圆片的光敏层上。用激光控制x－y台面精准地定位圆片。由台面设置光孔所定义的矩形的中心坐标x和y。光孔的尺寸可以控制在±7.5μm，导致掩膜版上尺寸的±0.75μm的不确定性（缩小10倍后）。这是关键尺寸的控制。如果生产10×的掩膜版，在硅片上产生±0.075的误差。除孔的尺寸产生的错误外，铜蚀刻机，还有掩膜版和硅片加工时产生的错误。由于台阶受激光控制，所以x，y的定位错误非常小。当仍然会导致定位错误。这样的错误导致成品率的下降。

? ? opg的成品率依赖于掩膜版的复杂程度，数据分割程序的优化，和要求的定位精度。一个调制得很好的az1370机器在产生一个优化的图形时，有每小时 10，000的曝光产率。一个复杂的vlsi电路有超过100，000的的矩形，要求10个多小时生产一个掩膜版。在这个期间要求温度的变化不能大于± 0.5f，这样才不增加定位错误。掩膜版的质量不能被确定，直到铬显影、蚀刻后。在那时的探伤就是10小时工作的检验。

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